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使うならウェハ上の校正係数を計算するためのWinCal™ベクトルネットワークアナライザとLRRMの内蔵SOLTと比較すると、これらの値が異なることがあります。これは正常であり、これが理由です。

SOLTキャリブレーションアルゴリズムの根本的な制限は、すべての規格（短絡、開放、各ポートおよび接続の負荷）が完全に既知の電気的挙動を持たなければならないことです。この振る舞いは通常、標準の等価回路の集まりである「cal-kit」に要約されています。較正プロセス中のモデル化された電気的挙動と実際の挙動との間のいかなる差異も、結果として生じる誤差補正項に誤差を生じさせ、測定データの不正確な補正を引き起こす。

同軸の世界では標準的な振る舞いは一貫しており、SOLTは妥当な選択です。プロービングの世界では、プローブを標準上に一貫して配置する能力は、プロキット（小）の位置決め精度と、cal-kitモデルの項が最初に決定されたときに使用された構成と一致する方法での標準の位置決めによって制限されます大きい - 通常5 µm以下）標準やプローブのわずかな違いなど、その他の違いも、cal-kitモデルの動作と実際の動作の違いに影響します。

高度なオンウェーハ校正SOLTの既知の動作への依存を減らすために開発されました。 LRRM校正には、測定基準面の位置を定義するための完全に知られたライン（スルー）規格と、抵抗値がDC値から分かってインダクタンスがわからないが周波数に対して一定である直列抵抗 - インダクタ整合規格が必要です。反射基準は、等しい反射基準ごとに2つのポートで等しい必要があります。理想的には、オープンとショートのように、2つの異なる等反射基準は大きく異なります。 LRRMに必要な標準はSOLTの場合と同じですが、キャリブレーションのみが標準の動作についてあまり仮定していません。

SOLTとLRRMの両方の校正は不完全で、単一モードの伝搬にのみ依存する一定の誤差項に依存します。実際には、すべてのプローブがこの点に関して完全ではなく、エラー修正項はある程度不正確です（GSプローブはGSGよりも悪く、ワイドピッチプローブはナローピッチプローブよりも劣る傾向があります）。 SOLTを使用すると、キャリブレーション標準を再測定すると、システムの再現性による偏差だけでcal-kit定義の動作がわかります。これはSOLT校正演算の性質によって強制されます。ただし、キャリブレーション中に使用されなかった既知の動作を持つ追加の構造を測定すると、不完全なキャリブレーションに関連する固有のエラーと実際の標準動作とcal-kit定義の違いに関連するエラーが表示されます。

高度な校正では反射標準は強制的な振る舞いを持たないため、元の反射標準の補正された振る舞いを調べるときに固有のエラーが現れます。これは、同軸の外側にエネルギーを存在させることによって非理想性を最も強く強調する短規格（寄生グランドモード）の場合に最も当てはまります。確かに、補正後に統一反射係数よりも大きい標準的な振る舞いを反映させるのは珍しいことではありません。これは明らかに物理的ではありませんが、SOLTの標準的な再測定では行われないので、SOLTが任意のDUTの測定でより良い結果をもたらすと結論付けるのは間違っているでしょう。実際には、LRRMは、プローブ配置、プローブ、および発生する可能性がある標準の変動に対する感度が最も低いため、より一貫した校正を提供します。肝心なのは、SOLTを使用するよりもLRRMを使用した方が、特にmm波長で測定の再現性が高いことです。

あなたはこれを経験しましたか？私達はあなたから、そしてこの問題についてあなたの考えが何であるかを聞きたいのですから、以下にコメントを落としてください。