Cascade
PA200 BlueRay
200 mmセミオート/フルオート生産プローブシステム
PA200 BlueRayの概要
半自動化または完全自動化された高精度のスループット
PA200 BlueRay™は、オプトエレクトロニクス（LEDなど）、MEMS（圧力センサーなど）、RF（SAW / BAWフィルターなど）デバイスのハイスループット機能テストを可能にします。その正確さは安全で、反復可能な電気接触で滑らかなプローブ着地を確実にします。 PA200 BlueRayは24時間365日稼働するように設計されており、ウェーハハンドリングロボットを使用して現場で簡単にアップグレードできます。
用途: RF/ミリ波、オプト、MEMSPA200 BlueRayの主な特徴
スループット
- ダイ間のステッピング時間は100 ms未満
- MultiDie Testingテクノロジにより最大20ダイ/秒(70,000ダイ/時)
- データ化までの時間を短縮
Z-精度
- あらゆる生産プローバの中で最も高いZ軸分解能
- 独自のZ-プロファイリング機能
- 歪んだウェーハなどの極端な高さの変動でも補正可能
- 最小のスクラブ
- 歩留まりの向上
費用対効果
- 最小のフットプリント
- すべての主要な分析機器、光学ソフトウェア、テスタとのインタフェース
- 維持費が低い
- 投資の迅速な回収
両面オプション
- 背面の計測。例: 積分球、光ファイバのセットアップ、圧力モジュール
- 試験対象デバイス(DUT)の上面および下面へのアクセス
- 高精度光計測
Veloxプローブステーション制御ソフトウェア
- ユーザー中心の設計により、トレーニングコストが最小限に抑えられ、効率が向上します。
- 包括的なアライメント関数-からシンプルなウェーハアライメントとマッピング高度な自動プローブとパッドの位置合わせ
- 経験の浅いユーザー向けのシンプルな操作：トレーニングコストの削減ワークフローガイド凝縮されたグラフィカルユーザーインターフェイス
- VeloxProオプション：SEMI E95準拠のテストエグゼクティブソフトウェアにより、ウェーハテストサイクル全体の簡素化された安全な自動化が可能
完全に自動化されたシステムへのアップグレードが可能(オプション)
- ハンドリングユニットを使用して現場でアップグレード可能
- 24時間365日運用のための、カセット外の試験自動化