Cascade
CM300xi-SiPh
自律シリコンフォトニクス測定アシスタントを備えた300 mmセミオート/フルオート プローブシステム
CM300xi-SiPhの概要
実績あるテクノロジと検証済みの測定値が違いを生む
CM300xi-SiPh 300 mmプローブステーションは、市場で最初に検証された統合測定ソリューションであり、設置後すぐに生産実績のある最適化された光学測定を可能にします。ユニークな自律SiPh測定アシスタント画期的な一連のキャリブレーションおよびアライメントツール、強力なSiPh-Toolsソフトウェアパッケージ、および数ヶ月から数年ではなく数日でフォトニックデバイスを測定できるようにするために必要なすべてのツールと備品を提供します。
用途: シリコンフォトニクスCM300xi-SiPhの主な特徴
検証済みの統合
- 必要なツール、備品、校正技術がすべて含まれています
- 追加の開発が不要で、設置直後に測定を開始できます
検証済みのパフォーマンス
- 指定済みのパフォーマンスパラメータ
- 出荷前と設置後の検証テスト
自動的な校正とアライメント
- 自動的な光学プローブの校正およびアライメントと、ウェーハとプローブの高さトレーニング
- 独自のピボットポイント校正
- 光学プロービングと自動電気プロービングの組み合わせのための、光学スキャン、勾配検索機能、サブダイ管理
光ガイド技術を用いた再構成可能ファイバアーム
- エンジニアリング環境と量産環境に対する柔軟性
- シングルファイバとファイバアレイを構成可能
- 特別に設計されたZ変位キットが、ウェーハとファイバ間の距離を調整
SiPh-Toolsソフトウェアパッケージ
- プローブステーションの視覚機能と光学式位置決めおよびテスト機器を統合することにより、マニュアル作業を自動化
- 、キャプチャログインし、収集したデータを解釈するためのツールの広い範囲
動画
自律シリコン・フォトニクス計測アシスタント
フォームファクタの自律シリコン・フォトニクス計測アシスタントは、シリコンフォトニクスのカップリングを可能にし、最適化します。 ウェハ表面のうちいくつ光に対するプローブとして単一の光ファイバとファイバアレイの使用は、フォームファクタがその連絡先インテリジェンス技術により管理して多くの課題を作成します。
imecのシリコンフォトニクス研究製造プログラム
お客様のIMECがどのようにCM300を使用してシリコンフォトニクスソリューションの開発を可能にするかをご覧ください
