CM300xi-ULN Semi-automated 300 mm Probe Station for Flicker Noise (1/f), Random Telegraph Noise (RTN), and Phase Noise Measurements of Ultrasensitive Devices

Cascade

CM300xi-ULN

超低ノイズ測定用の300 mm半自動/全自動プローブシステム

DCP-HTR Probes guarantee fully-guarded, ultra-low, fA-level current and fF-level capacitance measurements from -65 °C to + 300 °C

Pull-out chuck is integrated into completely shielded MicroChamber™ of the CM300xi-ULN probe station

概観主な特徴ビデオダウンロード

CM300xi-ULNの概要

フリッカーノイズ（1 / f）、ランダム電信信号ノイズ（RTNまたはRTS）、および超高感度デバイスの位相ノイズ測定用の300 mmプローブステーション

FormFactorは、業界をリードするCM300xiプローブステーションを革新的なテクノロジーで強化し、5、3、および2 nmテクノロジーノードでの新しいテスト機能に対応し、5G以降のアプリケーションを対象としています。新しいCM300xi-ULNは、これまでにない測定性能を可能にし、オンウエハー、低周波数フリッカー、RTN、および位相ノイズテストの分野で4つの重要な業界初を達成しました。

PureLine 3テクノロジー
達成した最初の自動プローブステーション-190dBスペクトルノイズ*

プラグインして移動
統合されたTestCellPower Managementは、システム全体、プローバー、および機器に完全に管理およびフィルタリングされたAC電力を提供します

自律的な24時間年中無休の運用
まで4倍高速フリッカーノイズの熱テスト30μmパッド

セットアップ時間とコストを削減
独自の低ノイズサイト調査、およびシステム検証サービス

FormFactorの新しいCM300xi-ULN（超低ノイズ）は、非常に正確なフリッカーノイズ（1 / f）、ランダムな電信信号ノイズ（RTNまたはRTS）、および超高感度デバイスの位相ノイズ測定用に設計された革新的な300 mmウェーハプロービングシステムです。

新たに特許を取得したPureLine™3テクノロジーを備えたULNプローブシステムは、最大32分の1の低ノイズ（1 kHz）を可能にし、5G以降のアプリケーションを対象とした7/5/2 nmテクノロジーノードでのデバイスの特性評価とモデリングを改善します。 CM300xi-ULNシステムは、以前のプローブシステムで発生していた環境ノイズの97％以上を排除することにより、超低ノイズ測定の新しい業界のゴールドスタンダードを確立します。

CM300xi-ULNは、ノイズテスト機器（フリッカーノイズ、RTN、位相ノイズ）と統合すると、電動プローブポジショナーを備えたContact Intelligence™を使用して、業界最高のテストスループットを提供し、完全な自律型DC完全なハンズフリー24時間年中無休操作のためのマルチDUTレイアウトによる低周波ノイズプローブ。

最後に、CM300xi-ULNは、低ノイズのTestCell最適化から複雑さを取り除きます。差し込むだけです。 TestCell Power Managementは、グラウンドループに起因するTestCellノイズをすべて排除し、システム全体、プローバー、および機器に完全に管理およびフィルタリングされたAC電源を提供します。

さらに、FormFactor独自の低ノイズサイト調査とシステム検証により、セットアップコストとツールの展開時間が大幅に削減されます。これにより、ラボエンジニアは優れたデバイスデータの取得に集中できるようになります。これを使用して、コストのかかる再設計の数を減らし、開発コストを抑えて製品化までの時間を短縮できます。

*プローバと熱システムを有効にした場合の標準的なノイズ（dBVrms /√Hz、1kHz〜1MHz）。

アプリケーション：超高感度デバイスのフリッカーノイズ（1 / f）、ランダムテレグラフノイズ（RTN）、および位相ノイズ測定

CM300xi-ULNの主な機能

PureLine 3テクノロジー

テスト対象デバイス（DUT）の周囲にノイズのない効果的な環境を提供します
達成する最初の自動プローブステーション-190dBスペクトルノイズ*
まで32倍の低ノイズ（1kHz）、5G以降のアプリケーションを対象とした7/5/2 nmテクノロジーノードでのデバイスの特性評価とモデリングを改善
以前のプローブシステムで発生していた環境ノイズの97％以上を排除
FormFactor特許、電気設計知識、および測定システムIPの豊富なコレクション

プラグインして移動

統合されたTestCell Power Managementを備えた世界初のプローブステーション（TestCellは、テストソフトウェア、機器、プローブステーション、サーマルシステム、およびケーブルやオンウエハプローブなどの関連する測定アクセサリを含む、接続された機器のセットです）
グラウンドループに起因するTestCellノイズをすべて排除
低電界放出
システム、プローバ、および機器全体に完全に管理およびフィルタリングされたAC電源を提供します

自律的な24時間年中無休の運用

まで4倍高速フリッカーノイズの熱テスト30μmパッド
ULNに最適化された電動DCプローブポジショナーにより、複数の温度での自律的DCおよび低周波フリッカーノイズプローブ
24時間年中無休の完全なハンズフリー操作

低ノイズサイト調査

ULNシステムをインストールするのに最適な場所を決定するために、FormFactor工場で訓練を受けたエンジニアによって実行されます
TestCellパフォーマンスの低下による不要な環境ノイズを制限する適切な場所を選択できるようにします
セットアップコストとツールの展開時間を大幅に削減
4つの重要なノイズソースの正確な測定値が含まれます：床の振動（0.1Hz〜1KHz範囲のµg）、磁場強度（ACミリガウス）、電力線ノイズ、および電力線THD（全高調波歪み）

CM300xi-ULN Probe Station - System Verification

システム検証サービス

すべてのCM300xi-ULNプロービングシステムに付属
標準製品のデータシートに関連付けられた主要な仕様とパフォーマンスを示します
スペクトルノイズ密度（dBVrms /√Hz、1Hz〜20MHz）、ACチャックノイズ（mV pp、DC〜2.5GHz）などの主要な製品仕様パラメーターが測定されます。

CM300xi-ULN Probe Station - MicroChamber for Shielded Environment

ULN MicroChamber™

プローバー内部のプロービング環境と、DUTおよびウェーハチャックエリアを直接囲む
完全なEMI / RFIシールド領域を保証
光に敏感なトランジスターを測定するための暗い乾燥した環境を提供し、霜のない動作で負の温度（<= -60°C）でデバイスを

CM300xi-ULN Probe Station - Power Conditioning Unit

ULN電力調整ユニット

システム全体（プローバと計測器）に完全に管理およびフィルタリングされたAC電源を提供します
重大な低周波ノイズの原因となるプローブステーションと機器の間のグランドループを排除
クリーンでフィルタリングされたAC電源をプローブステーション、サーマルチラーとコントローラー、ウエハーローダー、電動アクセサリー、およびすべてのテスト機器に供給
システム全体およびすべての機器を安全に操作するための、統合された緊急オフ/緊急電源制御システムを提供します。