CM300xi-ULNの概要
フリッカーノイズ(1 / f)、ランダム電信信号ノイズ(RTNまたはRTS)、および超高感度デバイスの位相ノイズ測定用の300 mmプローブステーション
FormFactorは、業界をリードするCM300xiプローブステーションを革新的なテクノロジーで強化し、5、3、および2 nmテクノロジーノードでの新しいテスト機能に対応し、5G以降のアプリケーションを対象としています。新しいCM300xi-ULNは、これまでにない測定性能を可能にし、オンウエハー、低周波数フリッカー、RTN、および位相ノイズテストの分野で4つの重要な業界初を達成しました。
PureLine 3テクノロジー
達成する最初の自動プローブステーション-190dBスペクトルノイズ*
プラグインして移動
統合されたTestCell Power Managementは、システム全体、プローバ、および機器に完全に管理およびフィルタリングされたAC電源を提供します
自律的な24時間年中無休の運用
まで4倍高速フリッカーノイズの熱テスト30μmパッド
セットアップ時間とコストを削減
独自の低ノイズサイト調査、およびシステム検証サービス
FormFactorの新しいCM300xi-ULN(超低ノイズ)は、非常に正確なフリッカーノイズ(1 / f)、ランダムな電信信号ノイズ(RTNまたはRTS)、および超高感度デバイスの位相ノイズ測定用に設計された革新的な300 mmウェーハプロービングシステムです。
新たに特許を取得したPureLine™3テクノロジーを備えたULNプローブシステムは、最大32分の1の低ノイズ(1 kHz)を可能にし、5G以降のアプリケーションを対象とした7/5/2 nmテクノロジーノードでのデバイスの特性評価とモデリングを改善します。 CM300xi-ULNシステムは、以前のプローブシステムで発生していた環境ノイズの97%以上を排除することにより、超低ノイズ測定の新しい業界のゴールドスタンダードを確立します。
CM300xi-ULNは、ノイズテスト機器(フリッカーノイズ、RTN、位相ノイズ)と統合すると、電動プローブポジショナーを備えたContact Intelligence™を使用して、業界最高のテストスループットを提供し、完全な自律型DC完全なハンズフリー24時間年中無休操作のためのマルチDUTレイアウトによる低周波ノイズプローブ。
最後に、CM300xi-ULNは、低ノイズのTestCell最適化から複雑さを取り除きます。差し込むだけです。 TestCell Power Managementは、グラウンドループに起因するTestCellノイズをすべて排除し、システム全体、プローバー、および機器に完全に管理およびフィルタリングされたAC電源を提供します。
さらに、FormFactor独自の低ノイズサイト調査とシステム検証により、セットアップコストとツールの展開時間が大幅に削減されます。これにより、ラボエンジニアは優れたデバイスデータの取得に集中できるようになります。これを使用して、コストのかかる再設計の数を減らし、開発コストを抑えて製品化までの時間を短縮できます。
*プローバと熱システムを有効にした場合の標準的なノイズ(dBVrms /√Hz、1kHz〜1MHz)。
アプリケーション:超高感度デバイスのフリッカーノイズ(1 / f)、ランダムテレグラフノイズ(RTN)、および位相ノイズ測定
CM300xi-ULNの主な機能

PureLine 3テクノロジー
- テスト対象デバイス(DUT)の周囲にノイズのない効果的な環境を提供します
- 達成する最初の自動プローブステーション-190dBスペクトルノイズ*
- まで32倍の低ノイズ(1kHz)、5G以降のアプリケーションを対象とした7/5/2 nmテクノロジーノードでのデバイスの特性評価とモデリングを改善
- 以前のプローブシステムで発生していた環境ノイズの97%以上を排除
- FormFactor特許、電気設計知識、および測定システムIPの豊富なコレクション

プラグインして移動
- 統合されたTestCell Power Managementを備えた世界初のプローブステーション(TestCellは、テストソフトウェア、機器、プローブステーション、サーマルシステム、およびケーブルやオンウエハプローブなどの関連する測定アクセサリを含む、接続された機器のセットです)
- グラウンドループに起因するTestCellノイズをすべて排除
- 低電界放出
- システム、プローバ、および機器全体に完全に管理およびフィルタリングされたAC電源を提供します

自律的な24時間年中無休の運用
- まで4倍高速フリッカーノイズの熱テスト30μmパッド
- ULNに最適化された電動DCプローブポジショナーにより、複数の温度での自律的DCおよび低周波フリッカーノイズプローブ
- 24時間年中無休の完全なハンズフリー操作

低ノイズサイト調査
- ULNシステムをインストールするのに最適な場所を決定するために、FormFactor工場で訓練を受けたエンジニアによって実行されます
- TestCellパフォーマンスの低下による不要な環境ノイズを制限する適切な場所を選択できるようにします
- セットアップコストとツールの展開時間を大幅に削減
- 4つの重要なノイズソースの正確な測定値が含まれます:床の振動(0.1Hz〜1KHz範囲のµg)、磁場強度(ACミリガウス)、電力線ノイズ、および電力線THD(全高調波歪み)

システム検証サービス
- すべてのCM300xi-ULNプロービングシステムに付属
- 標準製品のデータシートに関連付けられた主要な仕様とパフォーマンスを示します
- スペクトルノイズ密度(dBVrms /√Hz、1Hz〜20MHz)、ACチャックノイズ(mV pp、DC〜2.5GHz)などの主要な製品仕様パラメーターが測定されます。

ULN MicroChamber™
- プローバー内部のプロービング環境と、DUTおよびウェーハチャックエリアを直接囲む
- 完全なEMI / RFIシールド領域を保証
- 光に敏感なトランジスターを測定するための暗い乾燥した環境を提供し、霜のない動作で負の温度(<= -60°C)でデバイスを

ULN電力調整ユニット
- システム全体(プローバと計測器)に完全に管理およびフィルタリングされたAC電源を提供します
- 重大な低周波ノイズの原因となるプローブステーションと機器の間のグランドループを排除
- クリーンでフィルタリングされたAC電源をプローブステーション、サーマルチラーとコントローラー、ウエハーローダー、電動アクセサリー、およびすべてのテスト機器に供給
- システム全体およびすべての機器を安全に操作するための、統合された緊急オフ/緊急電源制御システムを提供します。

ULNサーマルフィルタリングモジュール
- 外部熱制御システムによって生成される有害なノイズをフィルタリングします
- アクティブモジュールは、1Mhzを超えると最大30dBまで高周波ノイズを大幅に低減します

ULNシングルポイントアースおよびケーブルシステム
- すべてのプローバアクセサリに統合
- 低抵抗接地接続
- 機械的アセンブリ用の低抵抗材料とハード接続スキーム
- 測定経路への不要なRFノイズの「アンテナ効果」注入の低減

正確なPLL位相ノイズのためのULN SMUフィルタリングモジュール
- ソースメジャーユニット(SMU)用に新しく開発されたDCフィルターモジュール
- フェーズロックループ回路(PLL)や電圧制御発振器(VCO)などのデバイスの非常に正確な位相ノイズ測定用
- 超静か/クリーンなDC電源電圧を提供
- 100mAの最大DC電流処理で最大100dBの減衰(50Hz〜80Mhz)を提供
- 各SMUフィルターモジュールは1つのチャネルをサポートし、複数のモジュールを一緒に構成して、マルチチャネルのクリーンパワーを提供できます。

業界をリードする高性能プローブ
- -65°C〜300°Cの超低fAレベルの電流およびfFレベルの静電容量測定
- 完全に保護された測定をfAおよびfFレベルに保証
- 続きを読む:DCP-HTRプローブそしてDCP 100シリーズプローブ

簡単な手動ウェーハローディング
- チャック手動で開くことができるロールアウトステージにマウント
- チャックと補助サイトへのフルアクセスを可能にします
- ウェーハの迅速かつ安全な手動ロードおよびアンロード用

3D手動コントロール
- 前面の仮想プラテンリフトとXYノブ
- X、Y、およびZ方向のチャックの直感的で正確な移動
- プラテンリフトにより、接触高さの設定など、多くの位置合わせタスクを非常に迅速かつ直感的に実行できます

Veloxプローブステーション制御ソフトウェア
- ユーザー中心の設計により、トレーニングコストが最小化され、効率が向上します
- Windows 10との互換性により、最先端のハードウェアで最高のパフォーマンスと安全な操作を実現
- 包括的な整列機能–からシンプルなウェーハアライメントとマッピング高度にプローブとパッドの位置合わせ複数の温度で自律型半導体テスト
- 経験の浅いユーザーのための簡素化された操作:トレーニングコストの削減ワークフローガイド凝縮されたグラフィカルユーザーインターフェイス
- VeloxProオプション:ウェーハテストサイクル全体の簡素化された安全な自動化を可能にするSEMI E95準拠のテスト実行ソフトウェア

生産性とマテリアルハンドリングユニットのテスト
- カセット外のテスト自動化により、夜間/週末の運用でテストセルの効率を向上
- 最大25枚のウェーハ(200または300 mm)に対応
- SEMI標準カセットのホットスワップ機能
- 設置面積が小さく、非常にコンパクトな完全自動化ソリューション
ビデオ

SourceOne –認定済みの中古機器
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SourceOne –工場改修プログラム
プローブステーションの使用を最大15年間延長できます。工場改修プログラム。

SourceOne –下取り/買い戻しプログラム
上手プローブステーションを元に戻しますクレジットノート。