自律シリコンフォトニクス

自律シリコンフォトニクスの概要

FormFactorは、有効化および最適化のための新しいアシスタントを導入しますシリコンフォトニクスカップリング。ウェハ表面に出入りする光を結合するためのプローブとして単一の光ファイバとファイバアレイを使用することは、FormFactorが管理することを通して管理する多くの課題を生み出しますコンタクトインテリジェンス テクノロジを通じてこれを管理します。電気的試験とは異なり、光学的試験は、ウェーハ表面上のグレーティングカプラと呼ばれる対応する「パッド」に接触しないファイバとファイバアレイを使用します。代わりに、光出力の伝達が最大となる位置を見つけるために、これらのカプラの上にファイバを関節運動させる必要があります。

ウェーハ表面に対するファイバまたはアレイの先端の初期Z位置を設定した後、その位置を最適化することは、フォームファクターのエンジニアが開発した独自の自動化技術によって実現されます。高度な画像処理と特別に開発されたアルゴリズムを使用して、入射角と回転軸を自動的に調整でき、それに応じて設定されます。

フォームファクターは、ダイからダイへとステップ移動するときに、ファイバとアレイの正確なサブミクロンレベルの配置精度を可能にする、Z変位検知テクノロジも実装しています。これらの自動光学機能をプログラマブルDCおよびRFポジショニングテクノロジと組み合わせることで、真に自動化された光学-光学、光学-電気、および光学-電気-光学試験プラットフォームを構築することもできます。

光学用途の場合、コンタクトインテリジェンスは、動的エンジニアリング環境と生産のための安定した再現可能な環境で柔軟性を提供しながら、これまで数日、数週間、または数か月かかっていた作業を数分に短縮します

Autonomous Silicon Photonics Measurement Assistantは、次の200 mmおよび300 mmプローブステーションで使用できます。CM300xiそしてSUMMIT200。