自律シリコンフォトニクスの概要
垂直およびエッジ結合用の柔軟なシリコンフォトニクスプローブソリューション
FormFactorの自律型シリコンフォトニクス測定アシスタントは、ウェーハおよびダイレベルの業界標準を設定しますシリコンフォトニクスプロービング。この非常に柔軟なソリューションは、単一のファイバからアレイまで、および垂直結合からエッジ結合までの多数のテスト技術を提供します。高度なキャリブレーションのための新しい革新的なOptoVue、インテリジェントなマシンビジョンアルゴリズム、暗くてシールドされた霜のない環境向けの排他的なSiPh TopHatにより、システムは複数の温度でのハンズフリーの自動キャリブレーションと再キャリブレーションを可能にします。これにより、より正確な測定までの時間を短縮し、テストのコストを削減できます。
表面とエッジの両方の結合のためにウェーハに出入りする光を結合するプローブとして単一の光ファイバーとファイバーアレイを使用すると、FormFactorが管理する多くの課題が生じます。コンタクトインテリジェンス技術。電気的テストとは異なり、光学的テストでは、ウェーハの表面とエッジにあるグレーティングカプラーまたはファセットとして知られる対応する「パッド」に接触しないファイバーとファイバーアレイを使用します。代わりに、最大の光パワー伝達の位置を見つけるために、カプラーとファセットに対してファイバを連結する必要があります。
回折格子とファセットに対するファイバまたはアレイの先端の初期位置を設定し、それらの位置を最適化することは、FormFactorエンジニアによって開発された独自の自動化技術によって実現されます。高度な画像処理と特別に開発されたアルゴリズムを使用して、Z高さ設定、ファイバとファセットのギャップ、およびプローブステーションへの位置決めソリューションの自動キャリブレーションスイートを利用できます。
フォームファクターは、ダイからダイへとステップ移動するときに、ファイバとアレイの正確なサブミクロンレベルの配置精度を可能にする、Z変位検知テクノロジも実装しています。これらの自動光学機能をプログラマブルDCおよびRFポジショニングテクノロジと組み合わせることで、真に自動化された光学-光学、光学-電気、および光学-電気-光学試験プラットフォームを構築することもできます。
光学用途の場合、コンタクトインテリジェンスは、動的エンジニアリング環境と生産のための安定した再現可能な環境で柔軟性を提供しながら、これまで数日、数週間、または数か月かかっていた作業を数分に短縮します
Autonomous Silicon Photonics Measurement Assistantは、次の200 mmおよび300 mmプローブステーションで使用できます。CM300xi-SiPhそしてSUMMIT200。
用途: シリコンフォトニクス自律シリコンフォトニクスの主な特徴

OptoVue
- ウェーハおよびダイレベルのフォトニクスプローブのための革新的な技術の進歩
- リアルタイムの現場校正
- 個別化されたダイのテスト
- 真のダイレベルエッジカップリング
- その場での電力測定
- 高度なキャリブレーション技術
- 自律測定が可能

水平ダイレベルエッジカップリング
- テスト結果の最高の精度
- 最小の結合損失
- 専用の自動化されたファイバーとファセットのアライメント技術による再現性のある測定結果
- 衝突回避技術により繊維を損傷するリスクを低減
- 経験の少ないユーザー向けの使いやすさ
- 最終的なアプリケーションに最も近いデバイスのパフォーマンスを使用して、実際の状態の厳密なシミュレーションを可能にします

ウェーハレベルのエッジカップリング
- ウェーハレベルのトレンチ内でファイバー/アレイを整列および最適化するためのハードウェアおよびソフトウェア機能の新しい革新的な組み合わせ
- 最小の溝寸法で最小の結合損失
- 経験の浅いユーザーでも簡単にセットアップ
- 独自のファイバーからファセットへのギャップアライメント技術による再現性のある測定結果
- 衝突回避技術により繊維を損傷するリスクを低減

垂直カップリング
- ウェーハレベルのグレーティングカプラーへの垂直結合の業界標準
- 位置決めハードウェアはプローブステーションに対して正確に較正されており、ダイ間ダイ最適化を数分で実行できます
- 専用のピボットポイントキャリブレーションにより、ファイバー/アレイチップでの最小平行移動の最適ポイントが決定されます。
- Search First Light機能により、最適化のための初期位置の自動決定が可能
- その他の統合機能:入射角校正、旋光スキャン、光学スキャンデータ分析、光学トラッキング、光学プローブの位置合わせ

熱性能
- 暗い、シールド付き、霜なし
- -40°Cから+ 125°C
- 安定した再現性のある測定結果を得るために、低温での繊維/繊維アレイへの空気流の影響を最小限に抑えることができる唯一のソリューション
- 簡単なセットアップのためのITOコーティングされたTopHatウィンドウ
- 複数の温度でのハンズフリーの自動キャリブレーションと再キャリブレーションが可能

提携がSiPh試験ソリューションの鍵を握る
- との強力な優先パートナーシップ測定機器のためのKeysight Technologies
- への統合によるExecutive AutomationのテストPathwaveでのKeysightテストの自動化
- との優先パートナーとしての世界クラスの精密位置決めPhysik Instrumente(PI)
- 革新的なエンジニアリングチームを通じてかなりの専門知識を活用

独自の自動キャリブレーション
- プローブステーションに対する光学位置決めシステムの重要なキャリブレーションを実行する自動化機能の先駆的なセット
- 高さトレーニングをプローブするための段階的なウェーハ
- CalVueは、独自に設計されたレトロミラーテクノロジーを使用して、外部光なしでファイバー/アレイのすべての側面を表示し、リアルタイムの現場自動キャリブレーションを可能にします
- その他の排他的なキャリブレーション機能:モーターキャリブレーション、Z変位キャリブレーション、シータキャリブレーション、pztキャリブレーション、平面性キャリブレーション、自動ピボットポイントキャリブレーション

実績のある性能
- 独自のFormFactorが開発した自動テスト方法論
- 結合された電力の再現性を測定することにより、プローブステーションに対して較正された位置決めソリューションの完全なパフォーマンスを実証します。
- 900回の測定における結合電力の結果が0.3 dB以内であることを検証します
- 各測定の間に、ウェーハチャック、ヘキサポッドステージ、ピエゾステージを含むすべての溶液要素が移動します
- FormFactorの自律型シリコンフォトニクス測定アシスタントの統合されたパフォーマンスと堅牢性を真に実証します

FormFactor SiPh-ツール
- 強力なFormFactorが開発したソフトウェアパッケージ
- 光学プロービングを有効にし、促進するための膨大なツールセットが含まれています
- プローブステーションのマシンビジョン機能を光学位置決めおよびテスト機器と統合することにより、手動タスクを自動化
- 機能:測定位置トレーニング、ウェーハトレーニング、自動アライメント機能、キャリブレーションウェーハ検証、光学アライメント検証、サブダイ管理
- データをキャプチャ、ログ、および解釈するための幅広いツール

FormFactor Photonics Controller Interface(PCI)
- 光学位置決めシステムを手動で制御するためのFormFactorが開発したグラフィカルユーザーインターフェイス
- スキャンパラメータ設定のセットアップと初期光学アライメント機能の実行にも使用できます
- 調整が完了すると、すべてのキャリブレーション機能が自動化され、SiPh-Toolsによって実行されます

再構成可能なファイバーアーム
- シングルファイバー、ファイバーアレイ、エッジカップリングホルダー間で構成可能
- エンジニアリング環境と量産環境に対する柔軟性
- ファイバーホルダーを交換した後、FormFactorの自動キャリブレーションルーチンを使用すると、数分でバックアップして実行できます
- カスタム設計のナノメートル精度の統合Z変位センサーにより、ウェーハのテスト可能領域が最大化され、正確で再現性のあるデータ収集が保証されます
動画

自律シリコン・フォトニクス計測アシスタント
フォームファクタの自律シリコン・フォトニクス計測アシスタントは、シリコンフォトニクスのカップリングを可能にし、最適化します。 ウェハ表面のうちいくつ光に対するプローブとして単一の光ファイバとファイバアレイの使用は、フォームファクタがその連絡先インテリジェンス技術により管理して多くの課題を作成します。

シリコンフォトニクスによるデータセンターのエネルギー危機の解決| Choon Beng Sia博士
大量のビジネスデータが毎日、企業のデータセンターに流れ込んでいます。同時に、消費者は通信、閲覧、購入、共有、検索を行っており、データセンターで膨大な量のデータと驚くべきエネルギー需要を生み出しています。 FormFactorのDr Choon Beng Siaが、シリコンフォトニクス(SiPh)デバイスのアプリケーション、これらの新しいデバイスがデータセンターのエネルギー消費を削減する方法、正確で信頼性の高いウェーハレベルのフォトニクステストが必要な理由、およびFormFactorがSiPhデバイスのテストの課題に対処します。

imecのシリコンフォトニクス研究製造プログラム
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