自律シリコンフォトニクス

自律シリコンフォトニクスの概要

垂直およびエッジ結合用の柔軟なシリコンフォトニクスプローブソリューション

FormFactorの自律型シリコンフォトニクス測定アシスタントは、ウェーハおよびダイレベルの業界標準を設定しますシリコンフォトニクスプロービング。この非常に柔軟なソリューションは、単一のファイバからアレイまで、および垂直結合からエッジ結合までの多数のテスト技術を提供します。高度なキャリブレーションのための新しい革新的なOptoVue、インテリジェントなマシンビジョンアルゴリズム、暗くてシールドされた霜のない環境向けの排他的なSiPh TopHatにより、システムは複数の温度でのハンズフリーの自動キャリブレーションと再キャリブレーションを可能にします。これにより、より正確な測定までの時間を短縮し、テストのコストを削減できます。

表面とエッジの両方の結合のためにウェーハに出入りする光を結合するプローブとして単一の光ファイバーとファイバーアレイを使用すると、FormFactorが管理する多くの課題が生じます。コンタクトインテリジェンス技術。電気的テストとは異なり、光学的テストでは、ウェーハの表面とエッジにあるグレーティングカプラーまたはファセットとして知られる対応する「パッド」に接触しないファイバーとファイバーアレイを使用します。代わりに、最大の光パワー伝達の位置を見つけるために、カプラーとファセットに対してファイバを連結する必要があります。

回折格子とファセットに対するファイバまたはアレイの先端の初期位置を設定し、それらの位置を最適化することは、FormFactorエンジニアによって開発された独自の自動化技術によって実現されます。高度な画像処理と特別に開発されたアルゴリズムを使用して、Z高さ設定、ファイバとファセットのギャップ、およびプローブステーションへの位置決めソリューションの自動キャリブレーションスイートを利用できます。

フォームファクターは、ダイからダイへとステップ移動するときに、ファイバとアレイの正確なサブミクロンレベルの配置精度を可能にする、Z変位検知テクノロジも実装しています。これらの自動光学機能をプログラマブルDCおよびRFポジショニングテクノロジと組み合わせることで、真に自動化された光学-光学、光学-電気、および光学-電気-光学試験プラットフォームを構築することもできます。

光学用途の場合、コンタクトインテリジェンスは、動的エンジニアリング環境と生産のための安定した再現可能な環境で柔軟性を提供しながら、これまで数日、数週間、または数か月かかっていた作業を数分に短縮します

Autonomous Silicon Photonics Measurement Assistantは、次の200 mmおよび300 mmプローブステーションで使用できます。CM300xi-SiPhそしてSUMMIT200。