Cascade
EPS150TESLA
150 mm手動オンウェーハパワーデバイス評価システム
EPS150TESLAの概要
電力測定を強化する
最大3,000 ボルトまでのブレークダウン電圧をテストするための高電圧プロービング ソリューションと、最も小さなオン状態抵抗のための、40アンペアまでの大電流プロービング。シールドされた環境はノイズを減らし、安全な操作状態を提供します。
用途: ハイパワーEPS150TESLAの主な特徴
最適化された測定のセットアップ
- 多目的SIGMA機器の統合キット
- 短いケーブルとユニバーサルチャック接続
- 保護ガード付きトライアキシャルプローブ
- 最適化された信号経路
- 安全なプローブティップ交換
- 様々な解析装置のシームレスな統合
ハイパワーチャック
- 最大3 kVの低リーク測定用のトライアキシャルデザイン
- 特殊チャック表面コーティング
- 高いアイソレーション性能を提供
- 最も低い接触抵抗で最大100 Aの大電流測定
- 10 kV (同軸)動作電圧用のオプションのアップグレード
- 薄ウェーハ処理能力
安全な操作
- アーク放電保護
- インターロック付きシールドエンクロージャ
- 高度なアースコンセプト
- ユーザーおよびデバイスに対する高電圧ショックからの最大限の保護
- すべての機器に共通の接地保護
- EMI/遮光シールド環境
動画
フレキシブルカスケードMPS 150モジュラー150 mmプローブステーション
MPS150は、最大150 mmのウェーハおよび基板用の、使いやすく、しかも高精度のマニュアル プローブ プラットフォームです。正確な測定結果を最短時間かつ最大限の信頼性で実現するために必要なすべての機能を備えた、設定済みの用途に特化したプロービング ソリューションをご利用いただけます。MPS150は業界で最適なプローブプラットフォームです。
テストと測定の革新における純粋な天才を認識する
半導体産業の発展に貢献した天才に敬意を表します。初期のパイオニアから今日の大学の研究室まで、彼らの貢献がどのように業界を前進させたかをご覧ください。