InfinityXTプローブの概要
InfinityXTプローブシリーズの紹介。 InfinityXTは、FormFactorの業界をリードするInfinityプローブファミリを強化および拡張し、10年以上にわたってデバイスの特性評価およびモデリングコミュニティの精度と再現性のベンチマークを設定してきました。新しいInfinityXTシリーズは、温度範囲の拡大、チップの視認性と耐久性の向上、市場の発展に伴う狭ピッチのサポートにより、業界標準を前進させます。
最近、自動車、モバイル通信、5G、およびIoTデバイス市場に牽引され、RFおよびマイクロ波デバイスが爆発的に成長しています。新しいInfinityXTプローブの開発は、これらの高成長市場の要件に基づいています。要件には、デバイスのモデリングと特性評価のための超広帯域と広い温度範囲が含まれます。モデリング用のデバイス測定は、最も要求の厳しいオンウェーハ測定アプリケーションの1つであり、抽出されたパラメーターは非常にわずかな違いに非常に敏感であるため、非常に高い測定精度と再現性が必要です。
InfinityXTプローブの主な機能

次世代ウェーハプロービング
- Infinityファミリーの業界をリードする電気を継続
性能 - 自動車用の高温機能(175°C +)
デバイスの特性評価およびその他のアプリケーション - 配置の精度を高めるためのチップの視認性の向上
および再現性 - 固体ロジウム接点によるチップ寿命/耐久性の向上
- 新しいチップアーキテクチャにより、より狭い範囲のサポートが可能
ピッチ(例:25um) - 小型と組み合わせた高度な機械設計
コンタクトにより、より小さいパッド/ピッチでのプローブが可能になり、
耐久性と堅牢性を向上
ビデオ

自律型RF測定アシスタント
FormFactorの自律RF測定アシスタントは、複数の温度でRFデバイスの真の自動ハンズフリーキャリブレーションおよび測定を可能にする市場で唯一のソリューションです。

高周波での自律的なRFキャリブレーションとウェーハ温度プローブ
FormFactor Inc.のRF市場セグメントのディレクターであるAnthony Lordは、周波数330 GHzまでの複数の温度での自律的なキャリブレーションモニタリングと再キャリブレーションを示しています。

130 GHzまでの広帯域Sパラメータ測定|アンソニー・ロード
FormFactor RFマーケットディレクターのAnthony Lordが、特にミリ波で、広帯域にわたって非常に高い周波数を測定するという課題を検討します。彼は、高精度と再現性を備えたデバイスのモデリングと回路の特性評価の必要性、およびこれらの測定を全温度(-40〜+175℃)で行う際の課題について説明します。