200 mmシステム
デバイスの特性評価、モデリング、プロセス開発、設計デバッグ、IC故障解析などの用途が何であれ、Cascade 200 mmの手動および自動ウェーハプローブステーションは、最先端の半導体プロセスと積極的にスケーリングされたデバイスに必要な精度と汎用性を備えています。
統合測定システム
FormFactorのIMS製品は、堅牢でターンキー機能、安心、そして今日の重要で困難なテストアプリケーション向けに高品質のオンウェーハ測定データを収集するためのより高速なパスを提供します。統合測定システムは、Keysight Technologiesを含むFormFactorのパートナーが提供する機器やその他の製品を、FormFactorのプローブシステム、プローブ、およびウェーハ上のデバイスや集積回路に重要なデータを配信するために必要なその他すべてのものと統合します。
電力システム
の幅広い使用パワー半導体パワーデバイスを迅速かつ効率的に特性評価する差し迫った必要性を生み出しました。 FormFactorは、新しいパワーデバイスの市場投入までの時間を短縮し、生産に対応するためのオンウエハパワーデバイス特性評価システムを提供します。
ウェーハ/マルチチップ極低温システム
オンウェーハおよびマルチチップ測定用の高性能極低温プローブステーションは、極低温でのIRセンサーテスト、放射測定テスト、DCおよびRF測定など、さまざまな困難なアプリケーションをサポートします。このシステムは、最大300 mmのウェーハを処理でき、コールドフィルター、コールドシャッター、選択可能なf / valueアパーチャ、およびIR放射源（黒体）などの複数の光学機器をサポートします。最大8つのプローブポジショナーおよび/またはプローブカードを統合できます。自動チップアライメント、OCR、ウェーハマーク読み取りは、全自動および半自動システムの独自の機能です。冷却オプションには、液体ヘリウム（LHe）、液体窒素（LN2）、または極低温剤を使用しない冷却が含まれます。世界中に80を超えるステーションの大規模なインストールベースを備えた当社は、専門知識と技術的ノウハウを提供して、測定の課題に適切なソリューションを提供します。
真空/圧力システム
高真空または制御された圧力環境でのオンウェーハ測定用の当社の真空および圧力プローブステーションは、正確なμボロメータテスト（非冷却IR-FPA）、MEMS特性評価（慣性MEMS、共振器およびRF MEMS、圧力センサー）、IVを可能にします/ CV、RF / mmWおよびオプト測定。 IR放射線源（黒体）のような複数の光学機器、および最大8つのプローブポジショナーおよび/またはプローブカードを統合できます。安定性の高い設計により、結露のないテスト環境で優れた接触品質と正確な測定結果が得られます。ステップアンドリピート機能により、半自動システムで高スループットが可能になります。
カスタム プローブシステム
難易度の高いさまざまな用途ためのカスタマイズされたソリューション
