ウェーハ/マルチチップ極低温システム
オンウェーハおよびマルチチップ測定用の高性能極低温プローブステーションは、極低温でのIRセンサーテスト、放射測定テスト、DCおよびRF測定など、さまざまな困難なアプリケーションをサポートします。このシステムは、最大300 mmのウェーハを処理でき、コールドフィルター、コールドシャッター、選択可能なf / valueアパーチャ、およびIR放射源(黒体)などの複数の光学機器をサポートします。最大8つのプローブポジショナーおよび/またはプローブカードを統合できます。自動チップアライメント、OCR、ウェーハマーク読み取りは、全自動および半自動システムの独自の機能です。冷却オプションには、液体ヘリウム(LHe)、液体窒素(LN2)、または極低温剤を使用しない冷却が含まれます。世界中に80を超えるステーションの大規模なインストールベースを備えた当社は、専門知識と技術的ノウハウを提供して、測定の課題に適切なソリューションを提供します。
チップスケールの極低温システム
HPD極低温チップスケールプローブステーションは、長いターンアラウンドタイム、高ノイズ、低信号機能などの問題に取り組みます。これらのシステムは、世界クラスの技術と優れた極低温プロービングの知識を採用することにより、極低温での正確な測定を可能にします。
クリオスタット
HPDクライオスタットは、より高価でスペースを消費する希釈冷凍機(DR)の代替手段を提供します。これらの断熱消磁冷凍機(ADR)は、DRのフルパワーを必要としないが、ケルビン未満の温度を必要とするアプリケーションに最適です。当社のADRは、絶対零度より数分の1度高い温度への、より速く、コンパクトで、より安価な経路を提供します。新しいContinuousADR(CADR)を使用すると、ウォームアップせずに冷たく保つことができます。
カスタムプローブシステム
さまざまな困難なアプリケーション向けにカスタマイズされたソリューション