所有コストを削減しながらプロセスパフォーマンスを向上させる、オンウェーハプロービング用のプレミアムパフォーマンス分析プローブステーションの完全なラインを提供します。当社のプローブシステムは、顕微鏡、熱制御システム、ソフトウェア、業界をリードするプローブなどのアクセサリ一式で利用できます。
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ウェーハ、パッケージ、およびボードレベルの特性評価用に50を超える分析プローブモデルを提供しています。当社のRF、ミックスドシグナルおよびDCプローブのファミリーは、幅広いプロービング環境の課題に対応するように設計されています。
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メモリ、RF、ファウンドリ、ロジックデバイス向けの高性能プローブカードの幅広いポートフォリオを提供し、全体的な生産コストを削減し、歩留まりを向上させ、「ムーア以上」の高度なパッケージングテクノロジーを実現します。
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FRT Metrologyは、生産、開発、品質管理のための強力な表面計測ツールを製造しています。これらのマルチセンサーデバイスの設計と構築に基づいて、FRT計測ツールは幅広いウェーハおよび非ウェーハアプリケーションに使用できます。
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当社のプローブシステムは、プロセスの向上に役立ちます
所有コストを削減しながらパフォーマンス。
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所有コストを削減しながらパフォーマンス。
高真空または制御された圧力環境でのオンウェーハ測定用の当社の真空および圧力プローブステーションは、正確なμボロメータテスト（非冷却IR-FPA）、MEMS特性評価（慣性MEMS、共振器およびRF MEMS、圧力センサー）、IVを可能にします/ CV、RF / mmWおよびオプト測定。 IR放射線源（黒体）のような複数の光学機器、および最大8つのプローブポジショナーおよび/またはプローブカードを統合できます。安定性の高い設計により、結露のないテスト環境で優れた接触品質と正確な測定結果が得られます。ステップアンドリピート機能により、半自動システムで高スループットが可能になります。
