真空/圧力システム
高真空または制御された圧力環境でのオンウェーハ測定用の当社の真空および圧力プローブステーションは、正確なμボロメータテスト(非冷却IR-FPA)、MEMS特性評価(慣性MEMS、共振器およびRF MEMS、圧力センサー)、IVを可能にします/ CV、RF / mmWおよびオプト測定。 IR放射線源(黒体)のような複数の光学機器、および最大8つのプローブポジショナーおよび/またはプローブカードを統合できます。安定性の高い設計により、結露のないテスト環境で優れた接触品質と正確な測定結果が得られます。ステップアンドリピート機能により、半自動システムで高スループットが可能になります。