光学技術が新しい可能性を生み出す–より安全、より安全、よりスマート
垂直共振器型面発光レーザー（VCSEL）
スマートフォンおよび自動車アプリケーションでのVCSELの新しい用途は、VCSEL市場を新たな高みへと押し上げ続けています。顔認識のための3Dセンシングは、最大3つのVCSELダイが1つのスマートフォンに統合されているスマートフォンの主要なアプリケーションです。ドライバー監視、インフォテインメント制御、LiDARなどの新しい自動車アプリケーションは、VCSEL市場をさらに後押しし、その継続的な成長を維持します。 VCSELによって可能になる3Dセンシングが新しいアプリケーションを見つけ続けるにつれて、私たちが定期的に使用するテクノロジーは、より安全に、より安全に、よりスマートになります。
VCSELプロービングの課題
ウェーハ上でVCSELデバイスをテストする場合、複数の課題があります。主な要件は、片面および両面テスト、つまりウェーハの表面または裏面からのプロービングです。プローブシステムは、薄く歪んだウェーハ処理（GaAs、InPなど、4インチおよび6インチ）をサポートする必要があります。ウェーハの両面をプローブする場合はサーマルチャックが不可能であるため、測定セットアップでは、正確な冷却から高温への両面テストを行うために、局所的な冷却/加熱源が必要です。遠方界、近距離場、光IV（LIV）などの複雑なテストスイートの測定には、複数の光学系と検出器が必要であり、測定を完了するには複数のテストセットアップとパスも必要です。さらに、マルチサイドテストは、プローブカードの設計とDUTの温度制御の両方を複雑にします。
マイクロ発光ダイオード（μLED）
μLEDディスプレイ技術はますます注目を集めており、μLEDディスプレイはまもなく消費者製品に登場するでしょう。ウェアラブル、スマートフォン/タブレット、テレビ、仮想/拡張現実（VR / AR）、自動車など、μLEDディスプレイには複数の新しいアプリケーションがあります。 OLED、LCD、およびその他のディスプレイテクノロジーと比較して、μLEDディスプレイは、解像度が高く、ダイナミックレンジが広く、応答が速く、消費電力が少ない（バッテリー寿命が長い）。
μLEDプロービングの課題
オンウェーハμLEDテストの主な要件は、片面のプロービングと、反対側の積分球と検出器による光学測定を伴う片面および両面テストです。プローブシステムは、薄く歪んだウェーハ処理（GaAs、InP、その他、4インチおよび6インチ）、および非常に小さいパッド/バンプサイズとピッチでのプローブ間の位置合わせをサポートする必要があります。最後に、システムは、高い並列処理と迅速で正確なステッピングを備えた、ウェーハあたり数百万のDUTの高速で効率的な生産スタイルのテストを提供する必要があります。
VCSELおよびμLEDテスト用の先駆的なツール
ウェーハ上で直接光学デバイスをテストするには、高度な自動プロービングソリューションが必要です。 FormFactorは、高精度の片面および両面光学オンウェーハ測定用の一連の専用手動、半自動および完全自動プローブステーションでこれらの課題に対処します。
特殊両面チャック（VCSEL）
両面プロービングの場合、ウェーハはチャックの下側に配置されます。それは真空を介してガラスサポートに対して所定の位置に保持されます。この設計により、ウェーハの下側で障害物のないプロービングが可能になります。透明なガラスサポートにより、トリプル光学システムを使用してウェーハの上面から光学測定を行うことができます。
特許取得済みの熱システム技術（VCSEL）
ウェーハの両面をプローブする場合はサーマルチャックが不可能であるため、測定セットアップでは、正確な冷却から高温への両面テストを行うために、局所的な冷却および加熱源が必要です。 FormFactorは、特許を取得した新しい熱制御プローブユニットFireProbeを設計しました。これにより、非常に安定した正確な条件で高温と低温の両方をテストできます。この新しいテクノロジーには、プローブカードとプローブポジショナーの両方のタイプを選択できます。当社の高性能プローブの豊富なポートフォリオは、ほとんどの要件に適合します。
トリプルオプティクスシステム（VCSEL）
ウェーハの下側からプロービングしながら、LIV（光強度、電流、電圧）、ニアフィールドおよびファーフィールドを含むトリプルオプティクスをプローバーの上部に取り付けることができます。両面チャック設計により、ウェーハの両面に自由にアクセスできます。ウェーハ自体は、真空で固定するか、機械的にクランプして、基板の端までテストすることができます。
手動または電動ポジショナー
両面プロービングは、ウェーハの底面にある手動または電動ポジショナーによって可能になります。
プローブテクノロジー
3DMEMSおよび2DMEMSプローブオプションを備えたFormFactorAkariプローブカードは、電気信号の正確なプロービングを提供します。
プローブ位置補正（μLED）
独自の電気的マイクロアラインメント方法は、FormFactorの視覚ベースのアラインメントを強化および強化します。これにより、BlueRayプローブシステムを使用したタイトなパッド/バンプピッチでの完全自動テストと+/-4.5μmのステッピング精度が可能になります。
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