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プローブシステム

Cascade Probe Systems

所有コストを削減しながらプロセスパフォーマンスを向上させる、オンウェーハプロービングおよびボードテスト用のプレミアムパフォーマンス分析プローブステーションの完全なラインを提供します。当社のプローブシステムは、顕微鏡、熱制御システム、ソフトウェア、業界をリードするプローブなどのアクセサリ一式で利用できます。

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    カスケードプローブ

    Wafer Test Probes

    ウェーハ、パッケージ、およびボードレベルの特性評価用に50を超える分析プローブモデルを提供しています。当社のRF、ミックスドシグナルおよびDCプローブのファミリーは、幅広いプロービング環境の課題に対応するように設計されています。

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      プローブカード

      Probe Cards

      メモリ、RF、ファウンドリ、ロジックデバイス向けの高性能プローブカードの幅広いポートフォリオを提供し、全体的な生産コストを削減し、歩留まりを向上させ、「ムーア以上」の高度なパッケージング技術を実現します。

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        計測学

        Metrology Systems - FRT Tools

        FormFactorの会社であるFRTは、開発生産や品質管理などのさまざまな分野向けの強力な表面計測ツールを製造しています。これらのマルチセンサーデバイスの設計と構造により、FRTツールは複数のアプリケーションに使用できます。

        詳細@FRT

          テストの専門知識

          Test Expertise

          FormFactorは、特性評価、モデリング、信頼性、設計のバグ除去から、認定および製造テストに至るまで、設計から製造までの連続体全体を通じてお客様をサポートします。

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            会社

            Probe Card Manufacturing Company

            お客様は、実績のある製品ポートフォリオと経験豊富なエンジニアを利用して、今日のテストと測定の課題に対応しています。

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              セールス&サービス

              Probe Sales & Service

              お住まいの地域の担当者をすばやく見つけて、販売とサポートに関する質問に答えてください。

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                • 製品
                  • プローブシステム
                    • (モジュラーシステム)
                    • 150MMプローブシステム
                      • MPS150
                      • 天才教育キット
                    • 200MMプローブシステム
                      • サミット
                      • ブルーレイ
                      • PM8 / EPS200
                      • すべてを見る…
                    • 300MMプローブシステム
                      • CM300
                      • PM300
                      • すべてを見る…
                    • (専用システム)
                    • 自律アシスタント
                      • 自律型DC
                      • 自律RF
                      • 自律型SiPh
                    • ボードレベルのシステム
                      • ボードテストシステム
                    • 電力システム
                      • テスラ
                    • 高度なテスト
                      • 真空/低温/圧力システム
                    • ソフトウェア
                      • Velox
                      • WinCal XE
                    • アクセサリー
                      • eVue顕微鏡
                      • ポジショナー
                      • チャック
                      • 防振表
                      • ShieldEnclosure™
                        •  
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                    • 追加の製品/プログラム
                      • カスタムプローブシステム
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                  • プローブ
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                      • インフィニティプローブ–同軸
                      • InfinityXT™プローブ–同軸
                      • インフィニティ導波管プローブ
                    • | Z |調査
                      • | Z |プローブ–同軸
                      • | Z | Probe®PCB
                      • | Z | Probe®Power
                    • T波
                      • T波プローブ
                    • RFマルチコンタクト
                      • InfinityQuad
                      • ACP-Qプローブ
                      • Unityプローブ
                      • マルチ-| Z |調査
                      • | Z | ProbeWedge
                      • QuadCard™
                    • DCパラメトリック
                      • DCP100シリーズプローブ
                      • DCP-HTRシリーズプローブ
                    • DCマルチコンタクト
                      • DC-Qプローブ
                      • アイパスプローブ
                      • WPHプローブ
                    • DC電源
                      • 大電流プローブ
                      • 高電圧プローブ
                      • 超高出力(UHP)
                    • 専門
                      • 抵抗膜方式のマッチングと終了
                      • 光学プローブ
                      • 極低温プローブ
                    • シグナルインテグリティ
                      • FPCプローブ
                    • キャリブレーションツール
                      • インピーダンス標準基板
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                      • プローブの修理
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                    • FOUNDRY&LOGIC
                      • アルティウス
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                      • ピラミッドパラメトリック
                      • 匠
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                      • カタナ-RF
                      • ピラナ
                      • ピラミッドアクセルテストフィクスチャ
                      • ピラミッド-MW
                      • ピラミッドRFPシリーズ
                    • キャリブレーションツール
                      • ピラミッド校正基板
                  • 計測学
                    • 計測システム
                      • MicroProf®AP
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                      • MicroProf®FE
                      • MicroProf®MHU
                      • MicroProf®TL
                      • MicroProf®300
                      • MicroProf®200
                      • MicroProf®100
                • テストの専門知識
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                    • 5Gデバイス
                    • 高度なパッケージング
                    • 極低温装置
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                    • 低周波ノイズ
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                    • VCSELとMicroLED
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                    • テクニカルペーパー
                    • ケーススタディ
                    • インサイトプレゼンテーションのテスト
                  • MEASUREONEリーダーシップアライアンス
                    • MeasureOneプログラムの概要
                    • 1 / fデバイスの特性評価
                    • 回路の特性評価
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                    • 分析プローブのサポート
                    • 分析プローブの修理
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                    • WinCalXEサポート
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                  • ポータルサインイン
                    • 販売ポータル
                    • サービスポータル
                資産4

                  VCSELおよびMicroLED測定

                  VCSEL and Micro-LED Testing

                  光学技術が新しい可能性を生み出す–より安全、より安全、よりスマート

                  垂直共振器型面発光レーザー(VCSEL)

                  スマートフォンおよび自動車アプリケーションでのVCSELの新しい用途は、VCSEL市場を新たな高みへと押し上げ続けています。顔認識のための3Dセンシングは、最大3つのVCSELダイが1つのスマートフォンに統合されているスマートフォンの主要なアプリケーションです。ドライバー監視、インフォテインメント制御、LiDARなどの新しい自動車アプリケーションは、VCSEL市場をさらに後押しし、その継続的な成長を維持します。 VCSELによって可能になる3Dセンシングが新しいアプリケーションを見つけ続けるにつれて、私たちが定期的に使用するテクノロジーは、より安全に、より安全に、よりスマートになります。

                  Facial Recognition

                  VCSELプロービングの課題

                  ウェーハ上でVCSELデバイスをテストする場合、複数の課題があります。主な要件は、片面および両面テスト、つまりウェーハの表面または裏面からのプロービングです。プローブシステムは、薄く歪んだウェーハ処理(GaAs、InPなど、4インチおよび6インチ)をサポートする必要があります。ウェーハの両面をプローブする場合はサーマルチャックが不可能であるため、測定セットアップでは、正確な冷却から高温への両面テストを行うために、局所的な冷却/加熱源が必要です。遠方界、近距離場、光IV(LIV)などの複雑なテストスイートの測定には、複数の光学系と検出器が必要であり、測定を完了するには複数のテストセットアップとパスも必要です。さらに、マルチサイドテストは、プローブカードの設計とDUTの温度制御の両方を複雑にします。

                  マイクロ発光ダイオード(μLED)

                  μLEDディスプレイ技術はますます注目を集めており、μLEDディスプレイはまもなく消費者製品に登場するでしょう。ウェアラブル、スマートフォン/タブレット、テレビ、仮想/拡張現実(VR / AR)、自動車など、μLEDディスプレイには複数の新しいアプリケーションがあります。 OLED、LCD、およびその他のディスプレイテクノロジーと比較して、μLEDディスプレイは、解像度が高く、ダイナミックレンジが広く、応答が速く、消費電力が少ない(バッテリー寿命が長い)。

                  Smart Devices

                  μLEDプロービングの課題

                  オンウェーハμLEDテストの主な要件は、片面のプロービングと、反対側の積分球と検出器による光学測定を伴う片面および両面テストです。プローブシステムは、薄く歪んだウェーハ処理(GaAs、InP、その他、4インチおよび6インチ)、および非常に小さいパッド/バンプサイズとピッチでのプローブ間の位置合わせをサポートする必要があります。最後に、システムは、高い並列処理と迅速で正確なステッピングを備えた、ウェーハあたり数百万のDUTの高速で効率的な生産スタイルのテストを提供する必要があります。

                  VCSELおよびμLEDテスト用の先駆的なツール

                  ウェーハ上で直接光学デバイスをテストするには、高度な自動プロービングソリューションが必要です。 FormFactorは、高精度の片面および両面光学オンウェーハ測定用の一連の専用手動、半自動および完全自動プローブステーションでこれらの課題に対処します。

                  BlueRay Probe Station for VCSEL and µLED Test
                  Special double sided chuck

                  特殊両面チャック(VCSEL)

                  両面プロービングの場合、ウェーハはチャックの下側に配置されます。それは真空を介してガラスサポートに対して所定の位置に保持されます。この設計により、ウェーハの下側で障害物のないプロービングが可能になります。透明なガラスサポートにより、トリプル光学システムを使用してウェーハの上面から光学測定を行うことができます。

                  特許取得済みの熱システム技術(VCSEL)

                  ウェーハの両面をプローブする場合はサーマルチャックが不可能であるため、測定セットアップでは、正確な冷却から高温への両面テストを行うために、局所的な冷却および加熱源が必要です。 FormFactorは、特許を取得した新しい熱制御プローブユニットFireProbeを設計しました。これにより、非常に安定した正確な条件で高温と低温の両方をテストできます。この新しいテクノロジーには、プローブカードとプローブポジショナーの両方のタイプを選択できます。当社の高性能プローブの豊富なポートフォリオは、ほとんどの要件に適合します。

                  FireProbe - Patented Thermal System for Dual-Sided VCSEL Probing
                  Triple optics for VCSEL test, including LIV (light intensity, cu

                  トリプルオプティクスシステム(VCSEL)

                  ウェーハの下側からプロービングしながら、LIV(光強度、電流、電圧)、ニアフィールドおよびファーフィールドを含むトリプルオプティクスをプローバーの上部に取り付けることができます。両面チャック設計により、ウェーハの両面に自由にアクセスできます。ウェーハ自体は、真空で固定するか、機械的にクランプして、基板の端までテストすることができます。

                  手動または電動ポジショナー

                  両面プロービングは、ウェーハの底面にある手動または電動ポジショナーによって可能になります。

                  Manual and Motorized Positioners for VCSEL and Micro-LED Testing
                  3D and 2D MEMS Probe Technology for VCSEL and Micro-LED Testing

                  プローブテクノロジー

                  3DMEMSおよび2DMEMSプローブオプションを備えたFormFactorAkariプローブカードは、電気信号の正確なプロービングを提供します。

                  プローブ位置補正(μLED)

                  独自の電気的マイクロアラインメント方法は、FormFactorの視覚ベースのアラインメントを強化および強化します。これにより、BlueRayプローブシステムを使用したタイトなパッド/バンプピッチでの完全自動テストと+/-4.5μmのステッピング精度が可能になります。

                  Probe Position Correction for Micro-LED Test

                  もっと詳しく知る

                  製品情報:
                  PA200ブルーレイ

                  文書(PDF):
                  VCSELシステムデータシート

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