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  • FRT Metrology - Acquire Automation XT Software
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Acquire Automation XT is a fully automated software that carries out the measurement of components, the evaluation of measurement data and the logging of results. Easy recipe creation, multi-sensor measurement or hybrid metrology, compliance with industry standards or complex measurement tasks, are all standard in Acquire Automation XT. With the integration of different robot systems and interfaces for remote control, full integration into production is an easy step.


With the recipe-based software Acquire Automation XT, the fully automatic execution and evaluation of measurements is possible. Select the measurement and evaluation routine suitable for your measuring task from a variety of packages. Different parameters can be set depending on the respective evaluation method. Furthermore, formatting functions (filters) are also available. For recurring structures, a layout wizard with graphical user interface (GUI) can support you in learning the measurement positions. In addition, a sample fine alignment by means of pattern recognition is optionally available.

In the following you will learn more about our focus topics Multi-Sensor Setup, Hybrid Metrology and Defect Inspection.

Recipes, results, export

Not only the user interface, but also the presentation of the measurement results and the evaluation can be adapted at any time and individually tailored to your needs. Different measuring positions on individual components, and also several similar samples in a holder can be automatically examined in one measuring run. For this purpose, different sample geometries can be learned and brought into the correct measuring position via pattern recognition and automatic fine alignment.

Handling, Robots, SECS/GEM

For many industrial applications it is necessary to perform fully automatic measurements with high throughput rates. For this purpose, automatic handling of the samples is necessary. The MicroProf® is specifically designed for the semiconductor and MEMS industries and can be easily configured for different sample types and wafer types.

The handling unit is equipped with a robot arm with vacuum end effector, loading stations for open or closed cassettes including mapper and optional OCR reader, pre-aligner etc. It can process wafer sizes from 2 to 12 inches. Depending on the configuration, up to four cassettes can be processed simultaneously.

Every functionality of the handling system is accessible via the comfortable user interface of FRT Acquire Automation XT and fully integrated into the process flows.

For integration into existing MES systems, an important aspect in Industry 4.0, modules for different interfaces are available. In the semiconductor area we support the SECS/GEM standard for all wafer sizes below 300mm as well as the GEM300 standard from 300mm wafer diameter. Thus, we cover the handling of all common wafer sizes. Additional modules are available for other industries, e.g. for integration into iTAC.

  • Full automation of 2D and 3D measurements
  • Selection of numerous measuring tasks, filters, and evaluations according to SEMI and DIN-EN-ISO standards
  • Easy composition of individual measuring recipes with individual sample geometries and layouts
  • Management of measurement results in database and export to various formats or direct transfer to a tracing system
  • Integration of actuators such as robotic systems for sample handling and heating tables into the measuring sequence
  • Seamless integration into production environments with interfaces for remote control such as SEMI SECS/GEM, iTAC
  • Intuitive user interface with level-based user rights according to SEMI specifications

Acquire Automation XT


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Acquire Automation XTは 、部品の測定、測定データの評価、結果のロギングを全自動で行うソフトウェアです。 簡単なレシピ作成、マルチセンサー測定またはハイブリッド測定、業界標準への準拠、または複雑な測定タスクは、すべてAcquire Automation XTに標準装備されています。 さまざまなロボットシステムと遠隔操作のためのインターフェースの統合により、生産への完全な統合は容易なステップとなります。


レシピベースのソフトウェア「Acquire Automation XT」により、測定の完全自動実行と評価が可能です。 豊富なパッケージの中から、お客様の測定タスクに適した測定・評価ルーチンを選択できます。 それぞれの評価方法に応じて、異なるパラメータを設定することができます。 さらに、フォーマット機能(フィルター)も用意されています。 繰り返しの多い構造物には、GUI(グラフィカル・ユーザー・インターフェース)を備えたレイアウトウィザードが測定位置の習得をサポートします。 また、オプションとして、パターン認識による試料のファインアライメントも可能です。



ユーザーインターフェースだけでなく、測定結果の表示や評価についても、いつでもお客様のニーズに合わせて個別に対応することが可能です。 個々の部品の異なる測定位置や、ホルダー内の複数の類似した試料を一度の測定で自動的に検査することができます。 このため、パターン認識と自動ファインアライメントにより、異なる試料形状を学習し、正しい測定位置に持っていくことが可能です。


多くの産業用アプリケーションでは、高いスループットで全自動計測を行うことが必要です。 そのためには、サンプルの自動ハンドリングが必要です。 MicroProf®は、半導体およびMEMS産業向けに特別に設計されており、異なるサンプルタイプやウェーハタイプに合わせて簡単に構成することができます。

ハンドリングユニットには、バキュームエンドエフェクター付きのロボットアーム、マッパーとオプションのOCRリーダーを含むオープンまたはクローズドカセット用のローディングステーション、プリアライナーなどが装備されています。 2インチから12インチまでのウェーハサイズを処理することができます。 構成によっては、最大4つのカセットを同時に処理することが可能です。

ハンドリングシステムのすべての機能は、FRT Acquire Automation XTの快適なユーザーインターフェイスを介してアクセスでき、プロセスフローに完全に統合されています。

インダストリー4.0の重要なポイントである既存のMESシステムとの連携については、さまざまなインターフェースに対応したモジュールを用意しています。 半導体分野では、300mm以下のすべてのウェーハサイズでSECS/GEM規格をサポートし、300mmウェーハ径からはGEM300規格をサポートしています。 そのため、一般的なウェーハサイズであれば、すべて対応可能です。 iTACへの統合など、他の産業向けの追加モジュールも用意されています。

  • 2D および 3D 測定の完全自動化
  • SEMI および DIN-EN-ISO 規格に準拠した多数の測定タスク、フィルタ、および評価の選択
  • 個々のサンプル形状とレイアウトを使用して個々の測定レシピを簡単に構成
  • 測定結果をデータベースで管理し、さまざまなフォーマットにエクスポートしたり、トレース システムに直接転送したりできます
  • サンプルハンドリング用のロボットシステムや加熱テーブルなどのアクチュエータを測定シーケンスに統合
  • SEMI SECS/GEM、iTAC などのリモート コントロール用インターフェースを使用して、生産環境にシームレスに統合
  • SEMI 仕様に準拠したレベルベースのユーザー権限を備えた直感的なユーザー インターフェイス