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Cascade 探针台系统

Probe systems

我们提供完整的优质性能分析探针台系列,用于晶圆上探测和电路板测试,有助于提高工艺性能,同时降低拥有成本。我们的探头系统配有一整套附件,例如显微镜,热控制系统,软件和行业领先的探头。

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    Cascade 探针

    Probes

    我们提供了 50 多款用于晶圆、封装和板级特性描述的分析型探针产品。我们的 RF、混合信号和 DC 探针系列专为应对众多探查环境的挑战而设计。

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      Probe Cards

      我们为存储器、RF、代工厂和逻辑器件提供了广泛的高性能探针卡产品系列,有助于降低总体生产成本、改善良率和实现“超越摩尔定律”的先进封装技术。

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        计量学

        Metrology Systems

        FRT是FormFactor的一家公司,为各个部门(例如开发生产和质量控制)生产功能强大的表面计量工具。由于这些多传感器设备的设计和构造,FRT工具可用于多种应用。

        了解更多@ FRT

          专业测试

          Test Expertise

          FormFactor为客户提供从整个设计到生产具有连续性的支持,从表征,建模,可靠性和设计调试,验证和生产测试。

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            公司

            Probe card manufacturing company

            我们的客户依靠我们成熟的产品和具有丰富经验的工程师来帮助他们当今的测试与测量挑战。

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              销售服务

              Probe sales

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                  • 探针台系统
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                  WinCal XE 常见问题解答

                  通用射频校准常见问题解答

                  我的阻抗标准衬底 (PN XXX-XXX) 的 VNA 校准系数是多少? 扩大

                  这个问题可能代表了对晶圆上校准的一个基本的误解。让我们试着纠正一下。

                  在同轴校准中,标准是独特的器件,由于它们具有一个独特的连接器,因此会仅具备单一的电特性。在晶圆上探查中,标准的电学行为取决于探针和探针的摆放方式。

                  标准的形状和配置也是很重要的。FormFactor 制造了多种阻抗标准衬底 (ISS)。 对于“地-信号”或“地-信号-地”针尖配置,提供了具有标准间距或宽间距选择的探针版本。此外,还有通用、特殊和定制配置,因而可支持众多的应用。

                  校准系数是和探针(而不是阻抗标准衬底)一起提供的。校准系数可在与探针一道装运给您的产品手册中查阅。 另外,您的探针 / ISS 组合的校准系数也可以采用 WinCal 获得 (Tools -> View Probes and Matching ISS/CSR)。对于 250 um 间距探针,可使用标准间距或宽间距 ISS。通常提供的校准系数对应于标准间距 ISS。当采用宽间距 ISS 时,校准系数的数值将略有不同。

                  唯一未与探针一起提供的校准项是 Thru 标准延迟。对于具有探针分离正确对准(采用 ISS 上提供的对准标记)的标准间距探针,Thru 延迟将为 1 ps。对于宽间距 ISS,Thru 延迟则为 4 ps。

                  什么是校准 (Cal) 数据? 我在哪里能找到它?我要做些什么呢? 扩大

                  您的 Cal 信息包括用于每个探针的 3 个数字和用于 Thru 标准的 1 个数字。每个探针:#1 Co 开路电容,#2 Ls 短路电感,#3 Lterm 负载电感。Thru:#1 延迟。在大多数场合中,负载标准为 50 Ω。在校准套件 (calkit) 中看到的 500 Ω 出自负载电感的实现过程之中。HP 8510 并不直接支持负载电感的输入。作为替代,我们采用了偏载能力。通过选择一个针对偏载的非常高阻抗 (500 Ω) 和对应的延迟 (L/500),我们获得了与所需的电感等效的运行方式。这种方法也可用于短路电感。

                  在所有的场合中,用于探针的三个参数项均与探针一起提供给用户。如上所述将它们输入。Thru 延迟并未全部进行很好的记录。对于间距为 250 um 或更小的探针,使用 1 ps 的 Thru 延迟。间距较大的探针则采用 4ps 的 Thru 延迟。

                  我的阻抗标准衬底上的长传输线的电长度是多少? 扩大

                  如果采用 TRL 校准,则长传输线的延迟将必需提供给 WinCal 或直接提供至 VNA。这些延迟可以依靠与 ISS 一道提供的图纸容易地确定。简单地采用 ISS 上为此目的提供的一个标度来测量传输线。请牢记,需考虑到探针接触点重叠 —— 每端上约为 50 um。每 130 um (0.130 mm) 长度对应约 1 ps 的延迟,因此延迟可以采用 T (ps) = 长度 (mm)/0.13 来计算(最佳配合)。

                  在 LRRM 校准后测量的 101-190 TRL 线长:

                  150 um 1 ps
                  450 um 3.2 ps
                  900 um 6.6 ps
                  1800 um 13.5 ps
                  3500 um 26.6 ps
                  5250 um 40.4 ps

                  106-682 宽间距 GSG ISS 具有 4 ps Thru 延迟以及 25、50 和 50 ps 传输线延迟。106-686 GP 薄膜 ISS 上的直线 CPW 为 3.8、5.8、11.5、17.1、22.8、28.3、34.2、39.7、45.3、52.7、60.4 和 67.7 ps。

                  所有 THRU 传输线、尤其是通用 ISS (P/N 005-016) 上的直角 THRU 传输线的电长度是多少?我将把这些 THRU 线用于采用 WinCal 软件的 SOLR 校准。 扩大

                  这里是位于 005-016 ISS 右上角的传输线的延迟。. 它们的排列次序是从左到右,然后从上到下。“st”表示一根直线,“ra”表示一根直角线。

                  st 19.3 ps st 8 ps
                  st 19.3 ps st 2.7 ps st 4.7 ps
                  st 17 ps st 10.8 ps
                  st 24.2 ps ra ~5 ps
                  st 24.2 ps ra ~15 ps
                  st 41.1 ps

                  将这些数字视为估计值,而不是精确值。ra 数字更不精确。SOLR 校准只需要传输线延迟的估计值,该值用于确定一个平方根的特殊标志。

                  在完成了 SOLR 校准之后,查看用于在校准中使用的 R(倒数 Thru)标准的 S21 的极坐标图。随着频率变化的相位响应应大致是连续的(对于紧密相间的测量频率)。如果相位出现阶跃变化,则 Thru 延迟项的估计值可能需要调整,并重新计算校准。

                  一旦完成了合适的 SOLR 解决方案,则在校准电路开启情况下获得的 Thru 延迟测量值将是准确的,并可用于进一步的工作。请注意,采用 VNA 的最佳延迟测量结果是通过显示传输相位和调节“电延迟”(以在整个测量带宽内实现的零相位)获得的。“延迟”显示格式采用了连续频率点之间相位差计算,对于间距小的频率,噪声会非常大。

                  当我在 SOLR 校准之后测量倒数 Thru 标准时,在 S21 相位响应中为什么有一个 180° 相位阶跃? 扩大

                  传输相位中的此类阶跃行为表明,SOLR 算法尚未为求解标准找到合适的根本选择。调整您对 Thru 延迟估计值的推测,以消除相位阶跃行为。

                  WinCal XE 常见问题解答

                  怎样激活或停用我的 WinCalXE 4.8 及以后的授权许可证? 扩大

                  启动 WinCal,并从 Help 菜单选择 Licensing,以了解许可证激活和停用信息。

                  另一位用户在我们的实验室 PC 上安装并激活了 WinCal 4.7,但是,当我使用我的 Windows 登录时,WinCal 并未发现许可证。 扩大

                  如果多位用户登录到安装了 WinCal 的计算机,您可能会在事件窗口 (EventWindow) 中看到以下出错信息:

                  QueryLicenseInfo failed: A service system error was encountered: Failed file open. [1,7DF,9,0[73000041,5,400703F3]]

                  WinCal license is invalid: AcquireLicensesFromTrustedStorage failed: A service system error was encountered: Failed file open. [1,7DF,9,0[73000041,5,400703F3]]

                  如果在同一台 PC 上的用户不止一位,那么这台 PC 上的其他用户无须单独激活许可证即可使用 WinCal。只有第一位安装 WinCal 的用户才需要这么做。不过,所有的 Windows 用户登录都必需具备对保存了被我们称为“可信存储”之文件的文件夹的读访问权。它是位于“程序数据”(Program Data) 下的一个文件夹,在 Windows 7 操作系统上,其为:“C:\ProgramData\Cascade Microtech\WinCal XE 4.7\FlexNetStorage”。如果您在 WinCal 的 Event Window 中看到上面的出错信息,那么就存在访问权限问题。

                  在WinCalXE 4.8和更高版本中,通过使用“ C:\ Users \ Public \ Documents”下的文件夹来解决此问题。

                  在哪里可以找到针对 WinCal 3.x 和 WinCal 2006 问题的 FAQ? 扩大

                  WinCal 3.x 和 2006 不再得到支持。它们已经被 WinCal XE 取代。请与销售部门联系,以了解如何获得 WinCal XE。。

                  能否获得具有用于 LRRM、LRM+、TRL 及其他高级校准的 12 项误差系数的文件? 扩大

                  高级校准(具有切换项)作为 16 项校准进行存储。每个错误集由几个一起存储在某个文件夹中的文件组成。

                  当然,它们在被发送至一个 VNA 之前被转换为 12 项。WinCal 也能够按命令将它们转换为 12 项,并把它们作为 SIP 文件(每个文件一个误差系数)保存在一个新的文件夹中。

                  错误集被存储在一个位于您在 Options 中指定为“User Home Folder”的文件夹之下 、被称为 ErrSets 的子文件夹中。(在 Windows 7 操作系统上显示默认的用户名 hwikega)

                  wincal-faq-12-term-options

                  如需处理错误集,则使用主程序中的“Tools | Error Set Manager”菜单。在 Error Set Manager 中显示了所有保存的错误集 (Error Sets),而且 WinCal 保存了您所出现的每个错误。
                  (偶尔清除一下老错误也可能是个好主意。)

                  找到您希望保存为 12 项的 16 项错误集,然后在其上点击鼠标右键。您将看到一个弹出菜单,其中最后一个菜单选项是“Convert to Extended 12 Term”

                  注:WinCal XE 始终直接以 12 项格式来保存 SOL 和 SOLT,因为它们没有切换项(不考虑高级校准)。

                  wincal-faq-12-term-options-expanded

                   

                  进行此项会话,WinCal 创建一个具有 12 项内容的新文件夹。该文件夹将包含此类文件,其中每个 12 项错误系数位于一个单独的 S1P 文件中。

                  wincal-faq-12-term-options-docs

                  怎样才能看到一次校准会话期间测量的数据?该怎么处理它呢? 扩大

                  数据可通过 RF 数据浏览器 (Data Viewer) 查看:
                  当数据以“校准”(Calibration) 形式进行测量时,“View”按钮变为可用。

                  在您点击“View”按钮之后,数据将下载到一个报告 (Report) 中

                  在“报告选项卡”(Report Tab) 中,您现在可以在一幅图表上看到测量结果

                  您也可以通过点击 View > Data Items 来查看测量结果

                  wincal-faq-rfdata-viewer-A

                  如果右键单击数据项,则将出现一个带有若干选项的弹出式菜单。

                  wincal-faq-rfdata-viewer-B

                  如需察看数值数据,则选择弹出式菜单上的“Properties”,这将表现为一个提供测量细节的 SnP 文件。

                   

                   

                  当我针对少于 PNA 上显示的端口校准 PNA 时,为什么我在 WinCal 中遇到红色错误事件? 扩大

                  旧版本的 WinCal XE 存在这个局限性。这个问题已经得到了修复。请升级到当前版本。

                  如何能从测得的 S 参数计算和查看派生值? 扩大

                  ““WinCal XE 数据后置处理教程”(WinCal XE Data Post Processing Tutorial) 就使用 WinCal XE 后置处理能力提供了指导说明。确保主窗口以全尺寸显示(最右侧的工具栏按钮)。选择 Tutorial 选项卡,然后揿按“Other”该教程的选择将是可用的。

                  是否有任何示例报告? 扩大

                  是的,有几个示例。在主窗口中,使用“ “Help-Copy Examples to My Documents” 这将把所有的示例文件从分发文件夹复制到“User Home Folder”通常为属于当前登录用户的“My Documents\WinCal XE 4.7\Examples”。“属于当前登录的用户。该“User Home Folder”可在 Options-Folders 选项卡中改变。 一旦有了示例文件,您就可以根据自己的需要打开、复制和修改它们。 如果是修改,我们建议首先将它们复制到您的“User Home Folder”的一个新的子文件夹,这样一个新的“Help-Copy Examples to My Documents” 就不会覆盖您的定制版本。

                  WinCal XE 如何帮助验证校准? 扩大

                  WinCal XE 配套提供了强大的验证工具。有关这些工具的概述,请转到主窗口并使用“Help-Documentation Folders”菜单。它将打开 Windows 资源管理器到此文件夹,选择子文件夹“Application Toolkits”并打开文件“Calibration Validation and System Comparison Tools.pdf”

                  WinCal XE 具有哪些用于帮助用户进行器件特性分析的工具? 扩大

                  WinCal XE 配有许多用于帮助用户完成器件特性分析任务的工具。在主窗口中,使用“Help-Documentation Folders”菜单。它将打开 Windows 资源管理器到此文件夹,选择子文件夹“Application Toolkits”并打开文件“Calibration Validation and System Comparison Tools.pdf ”,该文件对许多工具进行了描述说明。

                  我能创建自己的向导吗? 扩大

                  可以。在主窗口中,使用“Wizards-Wizard Script Editor”菜单. 更好的方法或许是从一个现有的向导入手,对其进行修改。在主窗口中选择 Wizard 选项卡。揿按“More Wizards”并在 Wizard 上右键单击您希望自己的定制向导所基于的那个 Wizard。右键单击并选择“Create Copy for User”或“Create Copy for Group”这取决于您是否希望共享它。原来的向导在这里得到复制,然后可以右键单击这个新的副本并选择“Edit”在编辑之后,可以用新的名称来保存它,不过,即使没有重命名,它也不会替换原来的向导。它们位于不同的文件夹中。

                  当我在校准完成之后立即监视校准时,为什么会得到“校准不再可以接受”(Calibration no longer acceptable) 的结果呢? 扩大

                  这表示您的测量系统中的可重复性欠佳。 出现这种情况一种可能的原因是:您的校准套件完全定义错误、或者也许在应该测量开路的时候却测量了短路。这会产生对测量系统变化的高度敏感性。

                  更有可能的是测量系统中出了问题。在校准功能关闭的情况下使用 VNA,比较在每个端口上具有负载和短路时实测反射系数的大小。 期望变化超过 10 dB 以获得优良的校准结果。

                  该实验可采用同轴标准在电缆的末端以及 VNA 前面板上重复进行,以进一步隔离该问题。如果这个问题在单独采用 VNA 的时候出现,则有可能是 VNA 存在问题。检查您的 VNA 设置。低电源电压、高端口衰减、或斜坡扫描将降低 VNA 重复精度。另外,采用不充分的平均处理还会缩减动态范围。

                  检查所有的电缆和连接器。正确地给所有的连接器施以扭转力。确保使用的是高质量的相位稳定电缆。当采用质量差的电缆时,来自使用者的任何张力或无意碰撞都将导致电学行为发生足够大的变化,以至于破坏校准。可以使用半刚性电缆,但是应避免连接器承受任何应力,并适当地固定电缆,以最大限度减少振动或其他移动。

                  如果您的系统工作性能处于最佳状态,则可变更针对“良好”和“可接受”校准的阈值,以为标称系统性能提供指导。

                  当我在 SOLP 校准之后测量倒数 Thru 标准时,在 S21 相位响应中看到了一个 180° 的相位阶跃,这是为什么呢? 扩大

                  传输相位中的此类阶跃行为表明,SOLR 算法尚未为求解标准找到合适的根本选择。调整您对 Thru 延迟估计值的推测,以消除相位阶跃行为。

                  除了 Virtual VNA 之外我不能选择任何 VNA。该如何选择呢? 扩大

                  对于 WinCalXE 4.6 及更早的版本

                  对于不需要密钥的“Demo & Virtual”安装,这实际上是常规操作。 请注意,对于带密钥的完整 30 天演示版 (Demo),将需要选择默认安装或完整安装,然后附加密钥。只有 Virtual VNA 可用是硬件密钥(USB 或并行)的一个征兆,密钥要么是错误的,要么根本没有附加。这也可能是一个系统问题,或许与密钥驱动程序的安装有关。

                  对于 WinCalXE 4.7 及以后的版本

                  核实您在 WinCalXE 中拥有有效的使用许可证 (Help -> Licensing)

                  当通过运行 Nucleus 的探针台上的 GPIB 访问 VNA 时,为什么会产生不稳定的工作性能? 扩大

                  首先要检查的是明显的物理连接。如果没有正确地拧入,GPIB 触点就会滑出。另一个常见的原因是,Nucleus 被配置为 talker/listener,与 WinCal 必需成为控制器是相冲突的。要么使用一个 GPIB 开关盒(并将 WinCal 配置为使用它,见下文)要么将 Nucleus 配置为根本不通过 GPIB 来控制(Nucleus 硬件设置 —— 见 Nucleus 手册)。您可以尝试选择 WinCal 中的 Switchbox(即使您并没有开关盒)。当 WinCal 需要时,它仍应阻止 Nulceus 使用 GPIB。

                  WinCal XE / Nucleus COM Setup Alert Box

                  我采用 WinCal 保存了 Touchstone 3 端口 (S3P) 文件,但是无法使用其他的测量或建模程序来读取这些文件,这是为什么? 扩大

                  早期版本有一个与 3 端口数据集换行符有关的文件语法缺陷。这个问题已经得到解决。请升级至当前版本。

                  当我使用手动探针时,能否关闭每次测量的提示? 扩大

                  可以,Options 中的 Calibration 选项卡具有一个用于此项勾选的复选框。

                  我不能将 WinCal 4.7 与同一台机器上 Velox、控制接口设置(直接消息服务器)直接连接。我接收到有关 PTHREADBC2.DLL 丢失的出错信息。 扩大
                  这个问题在 WinCalXE 4.7.1 版本中得到解决。对于 4.7 版本的用户,可以通过从 FlexNet License Portal 进行下载而免费升级至 4.7.1。对于4.7的用户。

                  背景

                  在 Velox 2.2 中,MessageServer 用 C#.Net 编程语言进行了重写,应使用较新的 DLL 接口 (Vx.MessageServe.dll)。WinCal 4.7 将该 DLL 的老版本安装到其 SysBin 文件夹。WinCal 4.6 未安装该 DLL 并将连接正常,因为它从 Velox 路径获得 DLL。在 4.7.1 和以后的版本中不再安装此 DLL。

                  变通方法

                  1. 用套接字 (Sockets) 代替。Socket 连接仍然有效,于是改为使用 Velox、LAN(套接字)并输入 本地主机 作为 IP 地址。
                  2. 将 DLL 从 WinCal 的安装文件夹中移除。在Windows 7 操作系统上,用于 WinCal 的(典型)安装文件夹是:C:\Program Files (x86)\Cascade Microtech\WinCal XE 4.7\SysBin
                    1. 确定 WinCal 是关闭的
                    2. 导航到上面的文件夹,然后移除 Vx.MessageServe.dll
                    3. 重新启动,它应该不工作了,因为 WinCal 将从系统路径获得更新的 Velox 2.2 DLL。

                  演示申请表

                  WinCalXE software is a comprehensive and intuitive on-wafer RF measurement calibration tool to achieve accurate and repeatable S-parameter measurement. The WinCalXE features include exclusive 1-, 2-, 3-, and 4-port calibration algorithms, immediate and live data measurement and viewing, LRRM, LRM+, SOLT-LRRM hybrid and NIST-style multi-line TRL calibrations, as well as an Error Set Management capability for data comparison and augmentation. WinCalXE covers Infinity, ACP, T-Wave and |Z| Probes, and is compatible with Velox™, Nucleus™ and ProberBench™ probe station control software.

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                        • ACP探针 - 冷冻/真空
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                        • Infinity探针 - 同轴
                        • InfinityXT™探头–同轴
                        • Infinity波导探针
                        • 后
                      • | Z | 探针
                        • | Z | 探针 - 同轴
                        • | Z | Probe®PCB
                        • |Z| Probe® Power
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                      • T-WAVE
                        • T-Wave 探针
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                        • Unity探针
                        • Multi-|Z| 探针
                        • | Z | ProbeWedge
                        • QuadCard™
                        • 后
                      • DC参数
                        • DCP 100系列探针
                        • DCP-HTR系列探针
                        • 后
                      • DC多触点
                        • DC-Q探针
                        • Eye-Pass 探针
                        • WPH探针
                        • 后
                      • 直流电源
                        • 高电流探针
                        • 高压探针
                        • 超高功率(UHP)
                        • 后
                      • 专业
                        • 阻性匹配和终端
                        • 光波探针
                        • 后
                      • 信号完整性
                        • FPC探针
                        • 后
                      • 较准工具
                        • 阻抗标准衬底
                        • CSR 校准 (Cal) 衬底
                        • 多线 TRL 校准 (Cal) 衬底
                        • WinCal XE
                        • 后
                      • 产品支持
                        • 探针支持
                        • 探头维修
                        • Wincal支持
                        • 后
                      • 后
                    • 探针卡
                      • DRAM
                        • PH系列
                        • SmartMatrix
                        • 后
                      • FLASH
                        • TouchMatrix
                        • 后
                      • FOUNDRY & LOGIC
                        • ALTIUS
                        • Katana
                        • QiLin
                        • Cantilever
                        • Apollo
                        • TrueScale
                        • VX-MP
                        • 后
                      • PARAMETRIC
                        • Pyramid Parametric
                        • Takumi
                        • 后
                      • RF / MMW / RADAR
                        • Katana-RF
                        • Pyrana
                        • Pyramid Accel 测试夹具
                        • Pyramid-MW
                        • Pyramid RF P系列
                        • 后
                      • 较准工具
                        • Pyramid校准片
                        • 后
                      • 后
                    • 计量学
                      • 计量系统
                        • MicroProf®AP
                        • MicroProf®FS
                        • MicroProf®FE
                        • MicroProf®MHU
                        • MicroProf®TL
                        • MicroProf®300
                        • MicroProf®200
                        • MicroProf®100
                        • 后
                      • 后
                    • 后
                  • 专业测试
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